Een overzicht van vacuümgeïsoleerd leidingsysteem in cryogene toepassing van de chipindustrie

De vervaardiging en het ontwerp van vacuümgeïsoleerde leidingsystemen voor het transport van vloeibare stikstof vallen onder de verantwoordelijkheid van de leverancier. Als de leverancier voor dit project niet over de voorwaarden voor metingen ter plaatse beschikt, moeten de tekeningen van de pijpleidingrichting door de woning worden verstrekt. Vervolgens zal de leverancier het VI Piping System ontwerpen voor scenario's met vloeibare stikstof.

De leverancier zal het algehele ontwerp van het pijpleidingsysteem voltooien door ervaren ontwerpers volgens de tekeningen, apparatuurparameters, locatieomstandigheden, kenmerken van vloeibare stikstof en andere factoren die door de afnemer zijn verstrekt.

Tot de inhoud van het ontwerp behoren onder meer het type systeemtoebehoren, de bepaling van het materiaal en de specificaties van de binnen- en buitenleidingen, het ontwerp van het isolatieschema, het geprefabriceerde sectieschema, de verbindingsvorm tussen de buissecties, de interne buisbeugel , het aantal en de positie van de vacuümklep, de eliminatie van gasafdichting, de cryogene vloeistofvereisten van de eindapparatuur, enz. Dit schema moet vóór productie worden geverifieerd door het professionele personeel van de afnemer.

De inhoud van het ontwerp van vacuümgeïsoleerde leidingsystemen is breed, hier vindt u HASS-toepassingen en MBE-apparatuur bij enkele veelvoorkomende problemen, een eenvoudig gesprek.

1 2

VI-leidingen

De opslagtank voor vloeibare stikstof is meestal lang van HASS Application- of MBE-apparatuur. Hoewel de vacuümgeïsoleerde leiding het gebouw binnenshuis binnenkomt, moet deze redelijkerwijs worden vermeden, afhankelijk van de indeling van de ruimte in het gebouw en de locatie van de veldleiding en het luchtkanaal. Daarom transporteert vloeibare stikstof naar de apparatuur minstens honderden meters pijp.

Omdat de gecomprimeerde vloeibare stikstof zelf een grote hoeveelheid gas bevat, gekoppeld aan de transportafstand, zal zelfs de adiabatische vacuümleiding tijdens het transportproces een grote hoeveelheid stikstof produceren. Als er geen stikstof wordt geloosd of de emissie te laag is om aan de eisen te voldoen, ontstaat er gasweerstand en ontstaat er een slechte doorstroming van vloeibare stikstof, met als gevolg een grote reductie van het debiet.

Als het debiet onvoldoende is, kan de temperatuur in de vloeibare stikstofkamer van de apparatuur niet worden gecontroleerd, wat uiteindelijk kan leiden tot schade aan de apparatuur of de productkwaliteit.

Daarom is het noodzakelijk om de hoeveelheid vloeibare stikstof te berekenen die door de eindapparatuur (HASS-applicatie- of MBE-apparatuur) wordt gebruikt. Tegelijkertijd worden de pijpleidingspecificaties ook bepaald op basis van de lengte en richting van de pijpleiding.

Uitgaande van de opslagtank voor vloeibare stikstof, als de hoofdleiding van de vacuümgeïsoleerde pijp/slang DN50 is (binnendiameter φ50 mm), de aftakking VI pijp/slang DN25 is (binnendiameter φ25 mm), en de slang tussen de aftakleiding en de eindapparatuur is DN15 (binnendiameter φ15 mm). Andere fittingen voor het VI-leidingsysteem, waaronder fasescheider, ontgasser, automatische gasontluchting, VI/cryogene (pneumatische) afsluitklep, VI pneumatische stroomregelklep, VI/cryogene terugslagklep, VI-filter, veiligheidsklep, spoelsysteem, en Vacuümpomp enz.

3

MBE Speciale Fasescheider

Elke MBE speciale normale druk fasescheider heeft de volgende functies:

1. Vloeistofniveausensor en automatisch vloeistofniveaucontrolesysteem, en onmiddellijk weergegeven via een elektrische schakelkast.

2. Drukreductiefunctie: de vloeistofinlaat van de afscheider is uitgerust met een hulpsysteem voor de afscheider, dat een vloeibare stikstofdruk van 3-4 bar in de hoofdleiding garandeert. Wanneer u de fasescheider betreedt, verlaagt u de druk gestaag tot ≤ 1 bar.

3. Regeling van de vloeistofinlaatstroom: in de fasescheider is een drijfvermogencontrolesysteem aangebracht. Zijn functie is om de hoeveelheid vloeistofinname automatisch aan te passen wanneer het verbruik van vloeibare stikstof toeneemt of afneemt. Dit heeft het voordeel dat de scherpe drukschommelingen worden verminderd die worden veroorzaakt door het binnendringen van een grote hoeveelheid vloeibare stikstof wanneer de pneumatische inlaatklep wordt geopend, waardoor overdruk wordt voorkomen.

4. Bufferfunctie, het effectieve volume in de afscheider garandeert de maximale onmiddellijke stroom van het apparaat.

5. Spoelsysteem: luchtstroom en waterdamp in de afscheider vóór de doorgang van vloeibare stikstof, en afvoer van vloeibare stikstof in de afscheider na de doorgang van vloeibare stikstof.

6. Automatische overdrukontlastfunctie: De apparatuur leidt, wanneer deze in eerste instantie door vloeibare stikstof gaat of onder speciale omstandigheden, tot een toename van de vergassing van vloeibare stikstof, wat leidt tot onmiddellijke overdruk van het hele systeem. Onze fasescheider is uitgerust met een veiligheidsontlastklep en een veiligheidsontlastklepgroep, die de stabiliteit van de druk in de afscheider effectiever kunnen garanderen en kunnen voorkomen dat de MBE-apparatuur door overmatige druk wordt beschadigd.

7. Elektrische schakelkast, real-time weergave van vloeistofniveau en drukwaarde, kan het vloeistofniveau in de afscheider en vloeibare stikstof instellen op de hoeveelheid controlerelatie. Tegelijkertijd. In noodgevallen kan de gas-vloeistofafscheider handmatig in de vloeistofregelklep worden geremd, zodat het personeel op de locatie en de veiligheid van de apparatuur een garantie kunnen bieden.

4

Multicore-ontgasser voor HASS-toepassingen

De buitenopslagtank voor vloeibare stikstof bevat een grote hoeveelheid stikstof omdat deze onder druk wordt opgeslagen en getransporteerd. In dit systeem is de transportafstand van de pijpleiding langer, zijn er meer ellebogen en een grotere weerstand, wat een gedeeltelijke vergassing van vloeibare stikstof zal veroorzaken. Vacuüm geïsoleerde buizen zijn momenteel de beste manier om vloeibare stikstof te transporteren, maar warmtelekkage is onvermijdelijk, wat ook zal leiden tot gedeeltelijke vergassing van vloeibare stikstof. Samenvattend bevat vloeibare stikstof een grote hoeveelheid stikstof, wat leidt tot het genereren van gasweerstand, waardoor de stroom vloeibare stikstof niet soepel verloopt.

Uitlaatapparatuur op vacuümgeïsoleerde pijpen, als er geen uitlaatapparaat of onvoldoende uitlaatvolume is, zal leiden tot gasweerstand. Zodra de gasweerstand is gevormd, zal de transportcapaciteit van vloeibare stikstof aanzienlijk worden verminderd.

De exclusief door ons bedrijf ontworpen Multi-core Degasser kan ervoor zorgen dat de stikstof die uit de hoofdleiding voor vloeibare stikstof wordt afgevoerd, maximaal wordt afgevoerd en de vorming van gasweerstand wordt voorkomen. En de Multi-core Degasser heeft voldoende intern volume, kan de rol van bufferopslagtank spelen en kan effectief voldoen aan de behoeften van de maximale onmiddellijke stroom van oplossingspijpleidingen.

Unieke gepatenteerde meerkernige structuur, efficiëntere afzuigcapaciteit dan onze andere typen afscheiders.

5
Als vervolg op het vorige artikel zijn er enkele problemen waarmee rekening moet worden gehouden bij het ontwerpen van oplossingen voor vacuümgeïsoleerde leidingsystemen voor cryogene toepassingen in de chipindustrie.

1

Twee soorten vacuümgeïsoleerd leidingsysteem

Er zijn twee soorten vacuümgeïsoleerde leidingsystemen: het statische VI-systeem en het dynamische vacuümpompsysteem.

Statisch VI-systeem houdt in dat nadat elke leiding in de fabriek is gemaakt, deze op de pompunit tot de gespecificeerde vacuümgraad wordt gevacuümd en afgedicht. Bij de veldinstallatie en ingebruikname hoeft een bepaalde periode niet opnieuw naar de locatie te worden geëvacueerd.

Het voordeel van het Static VI Systeem zijn de lage onderhoudskosten. Als het leidingsysteem eenmaal in gebruik is, is er enkele jaren later onderhoud nodig. Dit vacuümsysteem is geschikt voor systemen die geen hoge koeleisen vereisen en open plekken voor onderhoud op locatie.

Het nadeel van het Static VI-systeem is dat het vacuüm met de tijd afneemt. Omdat bij alle materialen voortdurend sporengassen vrijkomen, wat wordt bepaald door de fysieke eigenschappen van het materiaal. Het materiaal in de mantel van VI Pipe kan de hoeveelheid gas die vrijkomt bij het proces verminderen, maar kan niet volledig worden geïsoleerd. Dit zal leiden tot het vacuüm van de afgesloten vacuümomgeving, zal steeds lager worden, de vacuümisolatiebuis zal het koelvermogen geleidelijk verzwakken.

Dynamisch vacuümpompsysteem betekent dat nadat de buis is gemaakt en gevormd, de buis nog steeds in de fabriek wordt geëvacueerd volgens het proces van lekdetectie, maar dat het vacuüm vóór levering niet wordt afgedicht. Nadat de installatie ter plaatse is voltooid, worden de vacuümtussenlagen van alle leidingen met roestvrijstalen slangen tot één of meer eenheden aangesloten en wordt een kleine speciale vacuümpomp gebruikt om de leidingen in het veld te stofzuigen. Speciale vacuümpomp heeft een automatisch systeem om het vacuüm op elk moment te bewaken en indien nodig te vacuümeren. Het systeem draait 24 uur per dag.

Het nadeel van een dynamisch vacuümpompsysteem is dat het vacuüm in stand moet worden gehouden door elektriciteit.

Het voordeel van het dynamische vacuümpompsysteem is dat de vacuümgraad zeer stabiel is. Het wordt bij voorkeur gebruikt in de binnenomgeving en de vacuümprestatie-eisen van zeer hoge projecten.

Ons dynamische vacuümpompsysteem, de hele mobiele geïntegreerde speciale vacuümpomp om ervoor te zorgen dat de apparatuur wordt gestofzuigd, een handige en redelijke lay-out om het effect van het vacuüm te garanderen, de kwaliteit van de vacuümaccessoires om de kwaliteit van het vacuüm te garanderen.

Voor het MBE-project, omdat de apparatuur zich in de cleanroom bevindt en de apparatuur lange tijd draait. Het grootste deel van het vacuümgeïsoleerde leidingsysteem bevindt zich in de gesloten ruimte op de tussenlaag van de cleanroom. Het is onmogelijk om in de toekomst het vacuümonderhoud van het leidingsysteem te implementeren. Dit zal ernstige gevolgen hebben voor de werking van het systeem op de lange termijn. Als gevolg hiervan maakt het MBE-project gebruik van bijna alle dynamische vacuümpompsystemen.

2

Drukontlastingssysteem

Het drukontlastingssysteem van de hoofdleiding maakt gebruik van Safety Relief Valve Group. Safety Relief Valve Group wordt gebruikt als veiligheidsbeschermingssysteem bij overdruk. VI-leidingen kunnen bij normaal gebruik niet worden aangepast

Veiligheidsklep is een belangrijk onderdeel om ervoor te zorgen dat het pijpleidingsysteem geen overdruk krijgt, een veilige werking, dus het is essentieel bij de werking van de pijpleiding. Maar de veiligheidsklep moet volgens de regelgeving elk jaar ter controle worden opgestuurd. Wanneer de ene veiligheidsklep wordt gebruikt en de andere is voorbereid en wanneer de ene veiligheidsklep wordt verwijderd, bevindt de andere veiligheidsklep zich nog steeds in het pijpleidingsysteem om de normale werking van de pijpleiding te garanderen.

De Safety Relief Valve Group bevat twee DN15-veiligheidskleppen, één voor gebruik en één voor stand-by. Bij normaal bedrijf is er slechts één veiligheidsklep aangesloten op het VI-leidingsysteem en deze werkt normaal. De overige veiligheidskleppen zijn losgekoppeld van de binnenleiding en kunnen op elk moment worden vervangen. De twee veiligheidskleppen zijn aangesloten en uitgeschakeld via de schakelstatus van de zijklep.

De Safety Relief Valve Group is uitgerust met een manometer om op elk moment de druk in het leidingsysteem te kunnen controleren.

De Safety Relief Valve Group is voorzien van een afvoerklep. Het kan worden gebruikt om de lucht in de leiding af te voeren tijdens het spoelen, en stikstof kan worden afgevoerd als het vloeibare stikstofsysteem draait.

dav

HL cryogene apparatuur

HL Cryogenic Equipment, opgericht in 1992, is een merk dat is aangesloten bij Chengdu Holy Cryogenic Equipment Company in China. HL Cryogenic Equipment zet zich in voor het ontwerp en de productie van het hoogvacuüm geïsoleerde cryogene leidingsysteem en aanverwante ondersteunende apparatuur.

In de snel veranderende wereld van vandaag is het een uitdagende taak om geavanceerde technologie te bieden en tegelijkertijd de kostenbesparingen voor klanten te maximaliseren. Al 30 jaar heeft HL Cryogenic Equipment Company in bijna alle cryogene apparatuur en industrie een diepere toepassingsscène, heeft een rijke en betrouwbare ervaring opgebouwd en onderzoekt en streeft er voortdurend naar om op de hoogte te blijven van de nieuwste ontwikkelingen in alle lagen van de bevolking, waardoor klanten kunnen beschikken over nieuwe, praktische en efficiënte oplossingen maken onze klanten competitiever op de markt.

For more information, please visit the official website www.hlcryo.com, or email to info@cdholy.com .

4


Posttijd: 25 augustus 2021

Laat uw bericht achter