Korte beschrijving van moleculaire bundelepitaxie (MBE)
De technologie van moleculaire bundelepitaxie (MBE) werd in de jaren vijftig ontwikkeld voor de productie van dunne halfgeleiderfilms met behulp van vacuümverdamping. Met de ontwikkeling van ultrahoogvacuümtechnologie is de toepassing van deze technologie uitgebreid naar de halfgeleiderwetenschap.
De drijfveer achter onderzoek naar halfgeleidermaterialen is de vraag naar nieuwe apparaten die de prestaties van systemen kunnen verbeteren. Nieuwe materiaaltechnologie kan op zijn beurt leiden tot nieuwe apparatuur en nieuwe technologieën. Moleculaire bundelepitaxie (MBE) is een hoogvacuümtechnologie voor de epitaxiale groei van lagen (meestal halfgeleiders). Hierbij wordt gebruikgemaakt van een warmtebundel van bronatomen of -moleculen die een enkelkristalsubstraat raakt. De ultrahoge vacuümomstandigheden van het proces maken in-situ metallisatie en de groei van isolerende materialen op nieuw gegroeide halfgeleideroppervlakken mogelijk, wat resulteert in schone interfaces.
MBE-technologie
De moleculaire bundelepitaxie werd uitgevoerd in een hoog vacuüm of ultrahoog vacuüm (1 x 10⁻⁶).-8Pa) omgeving. Het belangrijkste aspect van moleculaire bundelepitaxie is de lage depositiesnelheid, waardoor de film doorgaans epitaxiaal groeit met een snelheid van minder dan 3000 nm per uur. Een dergelijke lage depositiesnelheid vereist een voldoende hoog vacuüm om dezelfde mate van reinheid te bereiken als bij andere depositiemethoden.
Om het hierboven beschreven ultrahoge vacuüm te bereiken, heeft het MBE-apparaat (Knudsen-cel) een koellaag. De ultrahoge vacuümomgeving van de groeikamer moet worden gehandhaafd met behulp van een circulatiesysteem voor vloeibare stikstof. Vloeibare stikstof koelt de interne temperatuur van het apparaat af tot 77 Kelvin (−196 °C). De lage temperatuur kan het gehalte aan onzuiverheden in het vacuüm verder verlagen en betere omstandigheden creëren voor de depositie van dunne films. Daarom is een speciaal circulatiesysteem voor vloeibare stikstofkoeling nodig voor de MBE-apparatuur om een continue en constante toevoer van vloeibare stikstof van -196 °C te garanderen.
Koelcirculatiesysteem met vloeibare stikstof
Het vacuümkoelcirculatiesysteem met vloeibare stikstof omvat hoofdzakelijk:
● cryogene tank
● Hoofd- en aftakleidingen met vacuümmantel / vacuümslangen
● MBE speciale fasescheider en vacuümgeïsoleerde uitlaatpijp
● diverse vacuümgeïsoleerde kleppen
● gas-vloeistofbarrière
● vacuümgeïsoleerd filter
● dynamisch vacuümpompsysteem
● Voorkoelings- en spoelsysteem voor herverwarming
HL Cryogenic Equipment Company heeft de vraag naar MBE-koelsystemen met vloeibare stikstof opgemerkt en een technisch team samengesteld om met succes een speciaal MBE-koelsysteem met vloeibare stikstof voor MBE-technologie te ontwikkelen, inclusief een complete set vacuümisolatie.edleidingsysteem, dat in veel bedrijven, universiteiten en onderzoeksinstellingen wordt gebruikt.
HL Cryogene Apparatuur
HL Cryogenic Equipment, opgericht in 1992, is een merk dat gelieerd is aan Chengdu Holy Cryogenic Equipment Company in China. HL Cryogenic Equipment is gespecialiseerd in het ontwerpen en produceren van vacuümgeïsoleerde cryogene leidingsystemen en bijbehorende ondersteunende apparatuur.
Voor meer informatie kunt u terecht op de officiële website.www.hlcryo.comof stuur een e-mail naarinfo@cdholy.com.
Geplaatst op: 6 mei 2021
