Kort van moleculaire bundelpitaxie (MBE)
De technologie van moleculaire bundelpitaxie (MBE) werd in de jaren 1950 ontwikkeld om dunne filmmaterialen voor halfgeleiders te bereiden met behulp van vacuümverdampingstechnologie. Met de ontwikkeling van ultrahoge vacuümtechnologie is de toepassing van technologie uitgebreid tot het gebied van halfgeleiderwetenschap.
De motivatie van Semiconductor Materials Research is de vraag naar nieuwe apparaten, die de prestaties van het systeem kunnen verbeteren. Op zijn beurt kan nieuwe materiaaltechnologie nieuwe apparatuur en nieuwe technologie produceren. Moleculaire bundelpitaxie (MBE) is een hoge vacuümtechnologie voor epitaxiale laag (meestal halfgeleider) groei. Het maakt gebruik van de warmtebundel van bronatomen of moleculen die invloed hebben op het substraat van één kristallen. De ultrahoge vacuümkenmerken van het proces maken in-situ metallisatie en groei van isolerende materialen op nieuw geteelde halfgeleideroppervlakken mogelijk, wat resulteert in vervuilingsvrije interfaces.
MBE -technologie
De moleculaire bundelpitaxie werd uitgevoerd in een hoog vacuüm of ultrahoog vacuüm (1 x 10-8PA) omgeving. Het belangrijkste aspect van de epitaxie van moleculaire bundel is de lage afzettingssnelheid, waardoor de film meestal kan groeien met een snelheid van minder dan 3000 nm per uur. Een dergelijke lage afzettingssnelheid vereist voldoende vacuüm om hetzelfde niveau van netheid te bereiken als andere afzettingsmethoden.
Om te voldoen aan het hierboven beschreven ultrahoge vacuüm, heeft het MBE-apparaat （Knudsen-cel） een koellaag en moet de ultrahoge vacuümomgeving van de groeikamer worden gehandhaafd met behulp van een vloeibaar stikstofcirculatiesysteem. Vloeibare stikstof koelt de interne temperatuur van het apparaat af tot 77 kelvine (-196 ° C). De lage temperatuuromgeving kan het gehalte aan onzuiverheden in vacuüm verder verminderen en betere omstandigheden bieden voor de afzetting van dunne films. Daarom is een speciale vloeistofstikstofkoelcirculatiesysteem vereist voor de MBE -apparatuur om een continue en gestage toevoer van -196 ° C vloeibare stikstof te bieden.
Vloeibare stikstofkoelcirculatiesysteem
Vacuüm vloeistof stikstofkoelcirculatiesysteem omvat voornamelijk,
● Cryogene tank
● Hoofd- en vertakkingsvacuümpijp / vacuümjasslang
● MBE Special Phase Separator en uitlaatpijp met vacuümjacks
● Verschillende kleppen met vacuümjacketjes
● Gas-vloeistofbarrière
● Filter met vacuümjacks
● Dynamisch vacuümpompsysteem
● Precoolend en purge opwarmsysteem
HL Cryogenic Equipment Company heeft de vraag van MBE vloeibaar stikstofkoelsysteem opgemerkt, georganiseerd technische ruggengraat om met succes een speciaal MBE -vloeibare stikstofkoëffysteem te ontwikkelen voor MBE -technologie en een complete set vacuüminsulatedPiping System, dat is gebruikt in veel ondernemingen, universiteiten en onderzoeksinstituten.
HL cryogene apparatuur
HL -cryogene apparatuur die in 1992 werd opgericht, is een merk dat is aangesloten bij Chengdu Holy Cryogenic Equipment Company in China. HL -cryogene apparatuur is toegewijd aan het ontwerp en de productie van het hoge vacuüm geïsoleerde cryogene leidingsysteem en aanverwante ondersteuningsapparatuur.
Ga voor meer informatie naar de officiële websitewww.hlcryo.com, of e -mail naarinfo@cdholy.com.
Posttijd: mei-06-2021
