Samenvatting van moleculaire bundelepitaxie (MBE)
De technologie van moleculaire bundelepitaxie (MBE) werd in de jaren 50 ontwikkeld om dunne-filmmaterialen voor halfgeleiders te produceren met behulp van vacuümverdampingstechnologie. Met de ontwikkeling van ultrahoogvacuümtechnologie is de toepassing ervan uitgebreid naar de halfgeleiderwetenschap.
De motivatie voor onderzoek naar halfgeleidermaterialen is de vraag naar nieuwe apparaten, die de prestaties van het systeem kunnen verbeteren. Nieuwe materiaaltechnologieën kunnen op hun beurt nieuwe apparatuur en nieuwe technologie opleveren. Moleculaire bundelepitaxie (MBE) is een hoogvacuümtechnologie voor de groei van epitaxiale lagen (meestal van halfgeleiders). Hierbij wordt gebruikgemaakt van de warmtebundel van bronatomen of -moleculen die inwerken op monokristallijne substraten. De ultrahoge vacuümeigenschappen van het proces maken in-situ metallisatie en groei van isolatiematerialen op nieuw ontwikkelde halfgeleideroppervlakken mogelijk, wat resulteert in vervuilingsvrije interfaces.
MBE-technologie
De moleculaire bundelepitaxie werd uitgevoerd in een hoog vacuüm of ultrahoog vacuüm (1 x 10-8Pa) omgeving. Het belangrijkste aspect van moleculaire bundelepitaxie is de lage depositiesnelheid, waardoor de film doorgaans epitaxiaal kan groeien met een snelheid van minder dan 3000 nm per uur. Een dergelijke lage depositiesnelheid vereist een voldoende hoog vacuüm om hetzelfde reinheidsniveau te bereiken als andere depositiemethoden.
Om aan het hierboven beschreven ultrahoge vacuüm te voldoen, heeft het MBE-apparaat (Knudsen-cel) een koellaag en moet de ultrahoge vacuümomgeving van de groeikamer worden gehandhaafd met behulp van een circulatiesysteem voor vloeibare stikstof. Vloeibare stikstof koelt de interne temperatuur van het apparaat af tot 77 Kelvin (−196 °C). De lage temperatuur kan het gehalte aan onzuiverheden in vacuüm verder verminderen en betere omstandigheden bieden voor de afzetting van dunne films. Daarom is een speciaal koelcirculatiesysteem voor vloeibare stikstof vereist voor de MBE-apparatuur om een continue en constante toevoer van vloeibare stikstof van -196 °C te leveren.
Koelcirculatiesysteem met vloeibare stikstof
Het vacuümvloeibare stikstofkoelcirculatiesysteem omvat voornamelijk:
● cryogene tank
● hoofd- en aftakkingsvacuüm ommantelde leiding / vacuüm ommantelde slang
● MBE speciale fasescheider en vacuümommantelde uitlaatpijp
● diverse vacuümommantelde kleppen
● gas-vloeistofbarrière
● vacuümommanteld filter
● dynamisch vacuümpompsysteem
● Voorkoel- en purge-opwarmsysteem
HL Cryogenic Equipment Company heeft de vraag naar een MBE-koelsysteem voor vloeibare stikstof opgemerkt en een technische basis gelegd om met succes een speciaal MBE-koelsysteem voor vloeibare stikstof voor MBE-technologie en een complete set vacuümisolatie te ontwikkelen.edleidingsysteem, dat in veel bedrijven, universiteiten en onderzoeksinstituten wordt gebruikt.
HL Cryogene Apparatuur
HL Cryogenic Equipment, opgericht in 1992, is een merk van Chengdu Holy Cryogenic Equipment Company in China. HL Cryogenic Equipment houdt zich bezig met het ontwerp en de productie van hoogvacuümgeïsoleerde cryogene leidingsystemen en bijbehorende ondersteunende apparatuur.
Voor meer informatie kunt u terecht op de officiële websitewww.hlcryo.com, of e-mail naarinfo@cdholy.com.
Plaatsingstijd: 6 mei 2021
