Brief van moleculaire bundelepitaxie (MBE)
De technologie van Molecular Beam Epitaxy (MBE) werd in de jaren vijftig ontwikkeld om halfgeleider dunne-filmmaterialen te bereiden met behulp van vacuümverdampingstechnologie. Met de ontwikkeling van ultrahoogvacuümtechnologie is de toepassing van technologie uitgebreid naar het gebied van de halfgeleiderwetenschap.
De motivatie van het onderzoek naar halfgeleidermaterialen is de vraag naar nieuwe apparaten, die de prestaties van het systeem kunnen verbeteren. Nieuwe materiaaltechnologie kan op zijn beurt nieuwe apparatuur en nieuwe technologie voortbrengen. Moleculaire bundelepitaxie (MBE) is een hoogvacuümtechnologie voor de groei van epitaxiale lagen (meestal halfgeleiders). Het maakt gebruik van de warmtestraal van bronatomen of moleculen die een enkelkristalsubstraat beïnvloeden. De ultrahoge vacuümkarakteristieken van het proces maken in-situ metallisatie en groei van isolatiematerialen op nieuw gegroeide halfgeleideroppervlakken mogelijk, wat resulteert in vervuilingsvrije grensvlakken.
MBE-technologie
De moleculaire bundelepitaxie werd uitgevoerd in een hoog vacuüm of ultrahoog vacuüm (1 x 10-8Pa) omgeving. Het belangrijkste aspect van moleculaire bundelepitaxie is de lage afzettingssnelheid, waardoor de film gewoonlijk epitaxiaal kan groeien met een snelheid van minder dan 3000 nm per uur. Een dergelijke lage afzettingssnelheid vereist een voldoende hoog vacuüm om hetzelfde niveau van zuiverheid te bereiken als andere afzettingsmethoden.
Om aan het hierboven beschreven ultrahoge vacuüm te voldoen, heeft het MBE-apparaat (Knudsen-cel) een koellaag en moet de ultrahoogvacuümomgeving van de groeikamer worden gehandhaafd met behulp van een circulatiesysteem met vloeibare stikstof. Vloeibare stikstof koelt de interne temperatuur van het apparaat af tot 77 Kelvin (-196 ° C). De omgeving met lage temperaturen kan het gehalte aan onzuiverheden in vacuüm verder verminderen en betere omstandigheden bieden voor de afzetting van dunne films. Daarom is er een speciaal koelcirculatiesysteem voor vloeibare stikstof vereist zodat de MBE-apparatuur een continue en constante toevoer van vloeibare stikstof van -196 °C kan leveren.
Koelcirculatiesysteem met vloeibare stikstof
Vacuüm koelcirculatiesysteem met vloeibare stikstof omvat hoofdzakelijk:
● cryogene tank
● hoofd- en aftakkingsbuis met vacuümmantel / slang met vacuümmantel
● Speciale MBE-fasescheider en uitlaatpijp met vacuümmantel
● diverse vacuümmantelkleppen
● gas-vloeistofbarrière
● Vacuümmantelfilter
● dynamisch vacuümpompsysteem
● Voorkoeling en zuivering van het opwarmsysteem
HL Cryogenic Equipment Company heeft de vraag opgemerkt naar een MBE koelsysteem met vloeibare stikstof, een georganiseerde technische ruggengraat om met succes een speciaal MBE koelsysteem met vloeibare stikstof te ontwikkelen voor MBE-technologie en een complete set vacuümisolatieedleidingsysteem, dat in veel bedrijven, universiteiten en onderzoeksinstituten wordt gebruikt.
HL cryogene apparatuur
HL Cryogenic Equipment, opgericht in 1992, is een merk dat is aangesloten bij Chengdu Holy Cryogenic Equipment Company in China. HL Cryogenic Equipment zet zich in voor het ontwerp en de productie van het hoogvacuüm geïsoleerde cryogene leidingsysteem en aanverwante ondersteunende apparatuur.
Bezoek de officiële website voor meer informatiewww.hlcryo.com, of mail naarinfo@cdholy.com.
Posttijd: 06 mei 2021
