De vloeibare stikstofkoelsystemen worden veel gebruikt in de halfgeleider- en chipindustrie, waaronder het proces van,
- De technologie van Moleculaire Bundepetaxie (MBE)
- De test van de chip na COB-pakket
Gerelateerde producten
Serie vacuümgeïsoleerde buizen
Serie vacuümgeïsoleerde flexibele slangen
Dynamisch vacuümpompsysteem
Serie vacuümgeïsoleerde fasescheiders
Serie vacuümgeïsoleerde kleppen
Ondersteunende apparatuur voor leidingsystemen
MOLECULAIRE STRAAL EPITAXIE
De technologie van moleculaire bundelepitaxie (MBE) werd in de jaren 50 ontwikkeld om dunne-filmmaterialen voor halfgeleiders te produceren met behulp van vacuümverdampingstechnologie. Met de ontwikkeling van ultrahoogvacuümtechnologie is de toepassing ervan uitgebreid naar de halfgeleiderwetenschap.
HL heeft gemerkt dat er vraag is naar het MBE-koelsysteem voor vloeibare stikstof en heeft de technische basis gelegd voor de succesvolle ontwikkeling van een speciaal MBE-koelsysteem voor vloeibare stikstof voor MBE-technologie en een complete set vacuümgeïsoleerd leidingsysteem, dat in veel ondernemingen, universiteiten en onderzoeksinstituten wordt gebruikt.
De meest voorkomende problemen in de halfgeleider- en chipindustrie zijn onder meer:
- De druk van vloeibare stikstof in terminal (MBE) apparatuur. Voorkom drukoverbelasting en beschadiging van terminal (MBE) apparatuur.
- Meerdere inlaat- en uitlaatregelingen voor cryogene vloeistoffen
- De temperatuur van vloeibare stikstof in eindapparatuur
- Een redelijke hoeveelheid cryogene gasemissies
- (Automatisch) schakelen van hoofd- en zijlijnen
- Drukaanpassing (vermindering) en stabiliteit van VIP
- Het verwijderen van mogelijke onzuiverheden en ijsresten uit de tank
- Vultijd van de terminalvloeistofapparatuur
- Voorkoeling van pijpleidingen
- Vloeistofweerstand in VIP-systeem
- Controleverlies van vloeibare stikstof tijdens discontinue werking van het systeem
De vacuümgeïsoleerde leidingen (VIP) van HL zijn standaard gebouwd volgens de ASME B31.3 Pressure Piping-norm. Technische ervaring en kwaliteitscontrole garanderen de efficiëntie en kosteneffectiviteit van de installatie van de klant.
OPLOSSINGEN
HL Cryogenic Equipment levert klanten het vacuümgeïsoleerde leidingsysteem dat voldoet aan de eisen en voorwaarden van de halfgeleider- en chipindustrie:
1. Kwaliteitsmanagementsysteem: ASME B31.3 Pressure Piping Code.
2. Een speciale fasenseparator met meerdere in- en uitlaatopeningen voor cryogene vloeistoffen met automatische regelfunctie voldoet aan de eisen voor gasuitstoot, gerecyclede vloeibare stikstof en temperatuur van vloeibare stikstof.
3. Een adequaat en tijdig uitlaatontwerp zorgt ervoor dat de eindapparatuur altijd binnen de ontworpen drukwaarde werkt.
4. De gas-vloeistofbarrière wordt in de verticale VI-buis aan het einde van de VI-leiding geplaatst. De gas-vloeistofbarrière maakt gebruik van het gasafdichtingsprincipe om de warmte van het einde van de VI-leiding naar de VI-leiding te blokkeren en zo het verlies van vloeibare stikstof tijdens discontinu en intermitterend gebruik van het systeem effectief te verminderen.
5. VI-leidingen aangestuurd door de serie vacuümgeïsoleerde kleppen (VIV): inclusief vacuümgeïsoleerde (pneumatische) afsluitkleppen, vacuümgeïsoleerde terugslagkleppen, vacuümgeïsoleerde regelkleppen, enz. Verschillende typen VIV's kunnen modulair worden gecombineerd om de VIP naar wens aan te sturen. De VIV is geïntegreerd met de VIP-prefabricage in de fabriek, zonder dat er ter plaatse een geïsoleerde behandeling nodig is. De afdichting van de VIV kan eenvoudig worden vervangen. (HL accepteert de door klanten aangegeven cryogene kleppen en produceert vervolgens vacuümgeïsoleerde kleppen van HL. Sommige merken en modellen kleppen kunnen mogelijk niet worden geproduceerd als vacuümgeïsoleerde kleppen.)
6. Reinheid: indien er aanvullende eisen zijn aan de reinheid van het binnenoppervlak van de buis, raden we klanten aan om te kiezen voor BA- of EP-roestvrijstalen buizen als VIP-binnenbuizen om lekkage van roestvrij staal verder te verminderen.
7. Vacuüm geïsoleerd filter: Verwijder eventuele onzuiverheden en ijsresten uit de tank.
8. Na een paar dagen of langer stilstand of onderhoud is het absoluut noodzakelijk om de VI-leidingen en de eindapparatuur voor te koelen voordat de cryogene vloeistof erin komt. Dit om ijsslakvorming te voorkomen nadat de cryogene vloeistof direct in de VI-leidingen en de eindapparatuur terechtkomt. De functie van voorkoeling moet in het ontwerp worden meegenomen. Het biedt een betere bescherming voor de eindapparatuur en ondersteunende apparatuur voor de VI-leidingen, zoals kleppen.
9. Geschikt voor zowel dynamische als statische vacuümgeïsoleerde (flexibele) leidingsystemen.
10. Dynamisch vacuümgeïsoleerd (flexibel) leidingsysteem: bestaat uit flexibele VI-slangen en/of VI-leidingen, verbindingsslangen, een vacuümgeïsoleerd kleppensysteem, fasescheiders en een dynamisch vacuümpompsysteem (inclusief vacuümpompen, magneetventielen en vacuümmeters). De lengte van de enkele flexibele VI-slang kan worden aangepast aan de wensen van de gebruiker.
11. Verschillende verbindingstypen: er kan worden gekozen uit een vacuümbajonetverbinding (VBC) en een gelaste verbinding. Het VBC-type heeft geen isolatiebehandeling ter plaatse nodig.
