De koelsystemen met vloeibare stikstof worden veel gebruikt in de halfgeleider- en chipindustrie, inclusief het proces van,
- De technologie van Molecular Beam Epitaxie (MBE)
- De chiptest na COB-pakket
Gerelateerde producten
Vacuüm geïsoleerde buisserie
Vacuümgeïsoleerde flexibele slangserie
Dynamisch vacuümpompsysteem
Vacuümgeïsoleerde fasescheiderserie
Vacuümgeïsoleerde ventielserie
Ondersteuningsapparatuur voor leidingsystemen
MOLECULAIRE BEAM EPITAXY
De technologie van Molecular Beam Epitaxy (MBE) werd in de jaren vijftig ontwikkeld om halfgeleider dunne-filmmaterialen te bereiden met behulp van vacuümverdampingstechnologie. Met de ontwikkeling van ultrahoogvacuümtechnologie is de toepassing van technologie uitgebreid naar het gebied van de halfgeleiderwetenschap.
HL heeft de vraag opgemerkt naar een MBE-koelsysteem met vloeibare stikstof, een georganiseerde technische ruggengraat om met succes een speciaal MBE-koelsysteem met vloeibare stikstof voor MBE-technologie te ontwikkelen en een complete set vacuümgeïsoleerde leidingsystemen, die in veel bedrijven, universiteiten en onderzoeksinstituten zijn gebruikt. .
De veel voorkomende problemen van de halfgeleider- en chipindustrie zijn onder meer:
- De druk van vloeibare stikstof in terminalapparatuur (MBE). Voorkom drukoverbelasting door beschadigde terminalapparatuur (MBE).
- Meerdere bedieningselementen voor cryogene vloeistofinlaat en -uitlaat
- De temperatuur van vloeibare stikstof in eindapparatuur
- Een redelijke hoeveelheid cryogene gasemissies
- (Automatisch) Wisselen van hoofd- en zijlijnen
- Drukaanpassing (verminderend) en stabiliteit van VIP
- Het verwijderen van mogelijke onzuiverheden en ijsresten uit de tank
- Vultijd van de terminalvloeistofapparatuur
- Voorkoeling van pijpleidingen
- Vloeistofbestendigheid in VIP-systeem
- Beheers het verlies aan vloeibare stikstof tijdens discontinue werking van het systeem
De vacuümgeïsoleerde buis (VIP) van HL is standaard gebouwd volgens de ASME B31.3 drukleidingcode. Technische ervaring en kwaliteitscontrolevermogen om de efficiëntie en kosteneffectiviteit van de fabriek van de klant te garanderen.
OPLOSSINGEN
HL Cryogenic Equipment biedt klanten het vacuümgeïsoleerde leidingsysteem om te voldoen aan de eisen en voorwaarden van de halfgeleider- en chipindustrie:
1. Kwaliteitsmanagementsysteem: ASME B31.3 Drukleidingcode.
2. Een speciale fasescheider met meerdere cryogene vloeistofinlaat en -uitlaat met automatische regelfunctie voldoet aan de vereisten van gasemissie, gerecyclede vloeibare stikstof en temperatuur van vloeibare stikstof.
3. Een adequaat en tijdig uitlaatontwerp zorgt ervoor dat eindapparatuur altijd binnen de ontworpen drukwaarde werkt.
4. De gas-vloeistofbarrière wordt in de verticale VI-buis aan het einde van de VI-buis geplaatst. Gas-vloeistofbarrière maakt gebruik van het gasafdichtingsprincipe om de warmte van het uiteinde van de VI-pijpleiding naar de VI-leiding te blokkeren en het verlies aan vloeibare stikstof tijdens discontinue en intermitterende werking van het systeem effectief te verminderen.
5.VI Leidingen bestuurd door de serie vacuümgeïsoleerde kleppen (VIV): inclusief vacuümgeïsoleerde (pneumatische) afsluitklep, vacuümgeïsoleerde terugslagklep, vacuümgeïsoleerde regelklep enz. Verschillende typen VIV kunnen modulair worden gecombineerd om de VIP te besturen als vereist. VIV is geïntegreerd met VIP-prefabricage in de fabrikant, zonder geïsoleerde behandeling ter plaatse. De sealunit van VIV kan eenvoudig worden vervangen. (HL accepteert het door klanten aangewezen merk van cryogene kleppen en maakt vervolgens vacuümgeïsoleerde kleppen van HL. Van sommige merken en modellen kleppen kunnen mogelijk geen vacuümgeïsoleerde kleppen worden gemaakt.)
6. Reinheid, als er aanvullende vereisten zijn voor de reinheid van het binnenbandoppervlak. Er wordt voorgesteld dat klanten BA- of EP-roestvrijstalen buizen als VIP-binnenbuizen kiezen om het morsen van roestvrij staal verder te verminderen.
7. Vacuüm geïsoleerd filter: verwijder de mogelijke onzuiverheden en ijsresten uit de tank.
8. Na een paar dagen of langer uitschakeling of onderhoud is het zeer noodzakelijk om de VI-leidingen en terminalapparatuur voor te koelen voordat er cryogene vloeistof wordt ingevoerd, om ijsslakken te voorkomen nadat de cryogene vloeistof direct de VI-leidingen en terminalapparatuur binnendringt. Bij het ontwerp moet rekening worden gehouden met de voorkoelfunctie. Het biedt een betere bescherming voor eindapparatuur en VI Piping-ondersteuningsapparatuur zoals kleppen.
9. Geschikt voor zowel dynamisch als statisch vacuümgeïsoleerd (flexibel) leidingsysteem.
10. Dynamisch vacuümgeïsoleerd (flexibel) leidingsysteem: Bestaat uit VI flexibele slangen en/of VI-buizen, verbindingsslangen, vacuümgeïsoleerd klepsysteem, fasescheiders en dynamisch vacuümpompsysteem (inclusief de vacuümpompen, magneetkleppen en vacuümmeters enz. ). De lengte van een enkele VI flexibele slang kan worden aangepast aan de eisen van de gebruiker.
11. Verschillende verbindingstypes: Vacuümbajonetverbinding (VBC) Type en gelaste verbinding kunnen worden geselecteerd. Het VBC-type heeft geen geïsoleerde behandeling ter plaatse nodig.
