De vloeibare stikstofkoelsystemen worden veel gebruikt in de halfgeleider- en chipindustrie, inclusief het proces van,
- De technologie van Molecular Beam Epitaxy (MBE)
- De test van de chip na COB -pakket
Gerelateerde producten
Vacuüm geïsoleerde pijpreeks
Vacuüm geïsoleerde flexibele slangreeks
Dynamisch vacuümpompsysteem
Vacuüm geïsoleerde fasescheidingsserie
Vacuüm geïsoleerde klepreeks
Ondersteuningsapparatuur voor het leidingssysteem
Moleculaire bundelpitaxie
De technologie van moleculaire bundelpitaxie (MBE) werd in de jaren 1950 ontwikkeld om dunne filmmaterialen voor halfgeleiders te bereiden met behulp van vacuümverdampingstechnologie. Met de ontwikkeling van ultrahoge vacuümtechnologie is de toepassing van technologie uitgebreid tot het gebied van halfgeleiderwetenschap.
HL heeft de vraag van MBE vloeibaar stikstofkoelsysteem opgemerkt, georganiseerd technische ruggengraat om met succes een speciaal MBE -vloeibare stikstofkoëffysteem te ontwikkelen voor MBE -technologie en een complete set vacuüm geïsoleerd leidingssysteem, dat is gebruikt in veel ondernemingen, universiteiten en onderzoeksinstituten .
De gemeenschappelijke problemen van de Semiconductor & Chip -industrie zijn onder meer,
- De druk van vloeibare stikstof in terminale (MBE) apparatuur. Voorkom dat drukoverbelasting de Apparatuur (MBE) schadevergoedingen (MBE) beschadigt.
- Meerdere cryogene vloeibare inlaat- en uitlaatcontroles
- De temperatuur van vloeibare stikstof in terminale apparatuur
- Een redelijke hoeveelheid cryogene gasemissies
- (Automatisch) Schakelen van hoofd- en vertakkingslijnen
- Drukaanpassing (reducerend) en stabiliteit van VIP
- De mogelijke onzuiverheden en ijsresiduen wegnemen van tank
- Het vullen van de tijd van de vloeistofuitrusting van de terminal
- Pijplijn voorgaal
- Vloeibare weerstand in VIP -systeem
- Beheersverlies van vloeibare stikstof tijdens discontinue service van het systeem
HL's vacuüm geïsoleerde pijp (VIP) is gebouwd om B31.3 drukspijpcode als standaard. Engineering-ervaring en kwaliteitsbeheersingsvermogen om de efficiëntie en kosteneffectiviteit van de fabriek van de klant te waarborgen.
Oplossingen
HL -cryogene apparatuur biedt klanten het vacuüm geïsoleerde leidingsysteem om te voldoen aan de vereisten en voorwaarden van de Semiconductor & Chip -industrie:
1. Quality Management System: ASME B31.3 Drukleidingscode.
2. Een speciale fase -separator met meerdere cryogene vloeibare inlaat en stopcontact met automatische controlefunctie voldoet aan de vereiste van gasemissie, gerecyclede vloeibare stikstof en temperatuur van vloeibare stikstof.
3. ADEQUATE en tijdige uitlaatontwerp zorgt ervoor dat terminalapparatuur altijd binnen de ontworpen drukwaarde werkt.
4. De gas-vloeistofbarrière wordt in de verticale VI-buis aan het einde van VI-pijpleiding geplaatst. Gas-vloeistofbarrière gebruikt het gasafdichtingsprincipe om de warmte te blokkeren vanaf het uiteinde van de VI-pijpleiding in de VI-leidingen en het verlies van vloeibare stikstof tijdens discontinue en intermitterende service van het systeem effectief te verminderen.
5.VI-leidingen geregeld door de vacuüm geïsoleerde klep (VIV) -serie: inclusief vacuüm geïsoleerde (pneumatische) afsluiting klep, vacuüm geïsoleerde terugslagklep, vacuüm geïsoleerde regulerende klep enz. vereist. VIV is geïntegreerd met VIP-prefabricage bij de fabrikant, zonder geïsoleerde behandeling ter plaatse. De afdichtingseenheid van VIV kan eenvoudig worden vervangen. (HL accepteert het cryogene klepmerk dat door klanten is aangewezen en maakt vervolgens vacuüm geïsoleerde kleppen door HL. Sommige merken en modellen van kleppen kunnen mogelijk niet worden gemaakt in vacuüm geïsoleerde kleppen.)
6.Begaandheid, als er aanvullende vereisten zijn voor het netheid van de binnenbuisoppervlak. Er wordt gesuggereerd dat klanten BA- of EP roestvrijstalen buizen kiezen als VIP -binnenbuizen om roestvrijstalen morsen verder te verminderen.
7.Vacuum geïsoleerd filter: rein de mogelijke onzuiverheden en ijsresidu uit de tank.
8. Na een paar dagen of langer afsluiten of onderhoud, is het zeer noodzakelijk om de VI -leidingen en terminalapparatuur te voorafgaan voordat cryogene vloeistof wordt ingevoerd, om ijsslak te voorkomen na cryogene vloeistof die rechtstreeks de VI -leidingen en terminalapparatuur binnenkomt. Voorafkoeling moet in het ontwerp worden overwogen. Het biedt betere bescherming voor terminalapparatuur en VI -leidingsondersteuningsapparatuur zoals kleppen.
9.S -suit voor zowel dynamisch als statisch vacuüm geïsoleerd (flexibel) leidingsysteem.
10. Dynamisch vacuüm geïsoleerd (flexibel) leidingsysteem: bestaan uit VI flexibele slangen en/of VI -buizen, springslangen, vacuüm geïsoleerde klepsysteem, fasescheiding en dynamisch vacuümpompsysteem (inclusief de vacuümpompen, solenoïde kleppen en vacuümbladen enz. ). De lengte van enkele VI flexibele slang kan worden aangepast aan de vereisten van de gebruiker.
11. Variabele verbindingstypen: VBC -type vacuümbajonetverbinding (VBC) en gelaste verbinding kunnen worden geselecteerd. Het VBC-type heeft geen geïsoleerde behandeling ter plaatse nodig.
