Technologie
Moleculaire bundelepitaxie, of MBE, is een nieuwe techniek voor het kweken van hoogwaardige dunne kristalfilms op kristalsubstraten. In ultrahoog vacuüm wordt de verwarmingskachel uitgerust met alle benodigde componenten en genereert stoom door gaten die ontstaan na collimatie van de atomaire of moleculaire bundel, en direct geïnjecteerd op de juiste temperatuur van het monokristallijne substraat. Tegelijkertijd wordt de moleculaire bundel op het substraat gescand. Dit kan de moleculen of atomen in kristallijne lagen laten "groeien" om een dunne film op een substraat te vormen.
Voor de normale werking van MBE-apparatuur is het continu en stabiel transporteren van zeer zuivere, lage druk en ultra-schone vloeibare stikstof naar de koelkamer van de apparatuur vereist. Over het algemeen heeft een tank die vloeibare stikstof levert een uitgangsdruk tussen 0,3 MPa en 0,8 MPa. Vloeibare stikstof van -196 °C verdampt gemakkelijk tot stikstof tijdens transport door de pijpleiding. Zodra de vloeibare stikstof met een gas-vloeistofverhouding van ongeveer 1:700 in de pijpleiding is vergast, neemt deze een groot deel van de vloeibare stikstofstroomruimte in beslag en vermindert de normale stroom aan het einde van de vloeibare stikstofleiding. Bovendien bevindt zich in de opslagtank voor vloeibare stikstof waarschijnlijk vuil dat niet is gereinigd. De aanwezigheid van vochtige lucht in de vloeibare stikstofleiding leidt ook tot de vorming van ijsslak. Als deze onzuiverheden in de apparatuur terechtkomen, veroorzaakt dit onvoorspelbare schade aan de apparatuur.
Daarom wordt de vloeibare stikstof in de buitenopslagtank met hoge efficiëntie, stabiliteit en schoon naar de MBE-apparatuur getransporteerd in de stofvrije werkplaats, bij lage druk, zonder stikstof, zonder onzuiverheden, 24 uur ononderbroken. Een dergelijk transportcontrolesysteem is een gekwalificeerd product.



Bijpassende MBE-apparatuur
Sinds 2005 optimaliseert en verbetert HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) dit systeem en werkt het samen met internationale fabrikanten van MBE-apparatuur. Fabrikanten van MBE-apparatuur, waaronder DCA en REBER, werken samen met ons bedrijf. Fabrikanten van MBE-apparatuur, waaronder DCA en REBER, hebben samengewerkt aan een groot aantal projecten.
Riber SA is een toonaangevende wereldwijde leverancier van producten en aanverwante diensten voor moleculaire bundelepitaxie (MBE) voor onderzoek naar samengestelde halfgeleiders en industriële toepassingen. Het Riber MBE-apparaat kan zeer dunne lagen materiaal op het substraat afzetten, met zeer nauwkeurige controle. De vacuümapparatuur van HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) is uitgerust met Riber SA. De grootste apparatuur is de Riber 6000 en de kleinste de Compact 21. Deze apparatuur verkeert in goede staat en is door klanten gewaardeerd.
DCA is 's werelds toonaangevende oxide-MBE. Sinds 1993 is er sprake van systematische ontwikkeling van oxidatietechnieken, antioxidantsubstraatverhitting en antioxidantbronnen. Om deze reden hebben veel toonaangevende laboratoria gekozen voor DCA-oxidetechnologie. Composiet-halfgeleider-MBE-systemen worden wereldwijd gebruikt. Het VJ-vloeibare-stikstofcirculatiesysteem van HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) en de MBE-apparatuur van diverse DCA-modellen hebben vergelijkbare ervaring in vele projecten, zoals de modellen P600, R450, SGC800, enz.

Prestatietabel
Shanghai Instituut voor Technische Fysica, Chinese Academie van Wetenschappen |
Het 11e Instituut van China Electronics Technology Corporation |
Instituut voor Halfgeleiders, Chinese Academie van Wetenschappen |
Huawei |
Alibaba DAMO Academie |
Powertech Technologie Inc. |
Delta Electronics Inc. |
Suzhou Everbright Fotonica |
Geplaatst op: 26 mei 2021