Het Chip MBE -project is de afgelopen jaren voltooid

Technologie

Moleculaire bundelpitaxie, of MBE, is een nieuwe techniek voor het kweken van hoogwaardige dunne films van kristallen op kristallen substraten. In ultrahoge vacuümomstandigheden is door de verwarmingskachel uitgerust met allerlei vereiste componenten en genereren stoom, door gaten gevormd na collimatiebundelatoom of moleculaire bundel, directe injectie in de juiste temperatuur van het enkele kristallen substraat, die de moleculaire bundel regelt, Het substraatscanning tegelijkertijd kan de moleculen of atomen in kristaluitlijningslagen maken om een ​​dunne film op een "groei" van een substraat te vormen.

Voor de normale werking van MBE-apparatuur moet een hoge zuiverheid, lage druk en ultraschoon vloeibare stikstof continu en stabiel worden getransporteerd naar de koelkamer van de apparatuur. Over het algemeen heeft een tank die vloeibare stikstof levert een uitgangsperiode tussen 0,3 MPa en 0,8 MPa. Liquid stikstof bij -196 ℃ wordt gemakkelijk verdampt in stikstof tijdens het transport van pijpleidingen. Zodra de vloeibare stikstof met een gas-vloeistofverhouding van ongeveer 1: 700 in de pijpleiding wordt geleid, zal deze een grote hoeveelheid vloeibare stikstofstroomruimte innemen en de normale stroom aan het uiteinde van de vloeibare stikstofpijpleiding verminderen. Bovendien is er in de vloeibare stikstofopslagtank waarschijnlijk afval dat niet is gereinigd. In de vloeibare stikstofpijpleiding zal het bestaan ​​van natte lucht ook leiden tot het genereren van ijsslak. Als deze onzuiverheden in de apparatuur worden geloosd, zal dit de apparatuur onvoorspelbare schade veroorzaken.

Daarom wordt de vloeibare stikstof in de buitenopslagtank naar de MBE-apparatuur getransporteerd in de stofvrije workshop met veel efficiëntie, stabiliteit en schoon, en de lage druk, geen stikstof, geen onzuiverheden, 24 uur ononderbroken, een dergelijk transportcontrolesysteem is een gekwalificeerd product.

TCM (4)
TCM (1)
TCM (3)

Bijpassende MBE -apparatuur

Sinds 2005 heeft HL -cryogene apparatuur (HL Cryo) dit systeem geoptimaliseerd en verbeterd en samengewerkt met internationale MBE -apparatuurfabrikanten. MBE -fabrikanten van apparatuur, waaronder DCA, Reber, hebben samenwerkingsverbanten met ons bedrijf. MBE -fabrikanten van apparatuur, waaronder DCA en Reber, hebben samengewerkt aan een groot aantal projecten.

Riber SA is een toonaangevende wereldwijde leverancier van Molecular Beam Epitaxy (MBE) -producten en aanverwante diensten voor samengestelde halfgeleideronderzoek en industriële toepassingen. Het Riber MBE -apparaat kan zeer dunne lagen materiaal op het substraat afzetten, met zeer hoge controles. De vacuümapparatuur van HL -cryogene apparatuur (HL Cryo) is uitgerust met Riber SA. De grootste apparatuur is Riber 6000 en de kleinste is compact 21. Het is in goede staat en is erkend door klanten.

DCA is 's werelds toonaangevende Oxide MBE. Sinds 1993 is de systematische ontwikkeling van oxidatietechnieken, antioxidantensubstraatverwarming en antioxidantbronnen uitgevoerd. Om deze reden hebben veel toonaangevende laboratoria gekozen voor DCA -oxide -technologie. Composiet halfgeleider MBE -systemen worden over de hele wereld gebruikt. Het VJ -vloeibare stikstofcirculatiesysteem van HL -cryogene apparatuur (HL Cryo) en de MBE -apparatuur van meerdere DCA -modellen hebben de bijpassende ervaring in veel projecten, zoals de Model P600, R450, SGC800 enz.

TCM (2)

Performance tabel

Shanghai Institute of Technical Physics, Chinese Academy of Sciences
Het 11e Institute of China Electronics Technology Corporation
Institute of Semiconductors, Chinese Academy of Sciences
Huawei
Alibaba Damo Academy
PowerTech Technology Inc.
Delta Electronics Inc.
Suzhou Everbright Photonics

Posttijd: 26-2021 mei

Laat uw bericht achter