Het Chip MBE-project dat in de afgelopen jaren is afgerond.

Technologie

Moleculaire bundelepitaxie, of MBE, is een nieuwe techniek voor het kweken van hoogwaardige dunne kristalfilms op kristalsubstraten. Onder ultrahoge vacuümomstandigheden wordt in een verwarmingsoven, uitgerust met alle benodigde componenten, stoom gegenereerd. Door gaten die ontstaan ​​na het collimeren van de atomaire of moleculaire bundel, wordt deze direct geïnjecteerd in een enkelkristalsubstraat met de juiste temperatuur. Tegelijkertijd wordt de moleculaire bundel gecontroleerd over het substraat gescand, waardoor moleculen of atomen in kristalstructuren zich in lagen rangschikken en een dunne film op het substraat vormen.

Voor een normale werking van MBE-apparatuur is het noodzakelijk dat vloeibare stikstof met een hoge zuiverheid, lage druk en ultraschone samenstelling continu en stabiel naar de koelkamer van de apparatuur wordt getransporteerd. Een tank voor vloeibare stikstof heeft doorgaans een uitgangsdruk tussen 0,3 MPa en 0,8 MPa. Vloeibare stikstof bij -196 °C verdampt gemakkelijk tot stikstof tijdens transport door een pijpleiding. Zodra de vloeibare stikstof met een gas-vloeistofverhouding van ongeveer 1:700 in de pijpleiding vergast is, neemt deze een groot deel van de beschikbare ruimte in beslag en vermindert de normale doorstroming aan het einde van de pijpleiding. Bovendien kan er in de opslagtank voor vloeibare stikstof vuil achterblijven dat niet is verwijderd. In de pijpleiding kan de aanwezigheid van vochtige lucht leiden tot de vorming van ijsslakken. Als deze onzuiverheden in de apparatuur terechtkomen, kan dit onvoorspelbare schade aan de apparatuur veroorzaken.

Daarom wordt de vloeibare stikstof in de buitenopslagtank op een zeer efficiënte, stabiele en schone manier, onder lage druk, zonder stikstof of onzuiverheden, 24 uur per dag ononderbroken naar de MBE-apparatuur in de stofvrije werkplaats getransporteerd. Dit transportcontrolesysteem is een gekwalificeerd product.

tcm (4)
tcm (1)
tcm (3)

Bijpassende MBE-apparatuur

Sinds 2005 optimaliseert en verbetert HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) dit systeem en werkt het samen met internationale fabrikanten van MBE-apparatuur. Fabrikanten van MBE-apparatuur, waaronder DCA en REBER, onderhouden samenwerkingsverbanden met ons bedrijf. Met deze fabrikanten, waaronder DCA en REBER, is samengewerkt aan een groot aantal projecten.

Riber SA is een toonaangevende wereldwijde leverancier van producten en diensten voor moleculaire bundelepitaxie (MBE) voor onderzoek naar samengestelde halfgeleiders en industriële toepassingen. Het Riber MBE-apparaat kan zeer dunne materiaallagen op het substraat afzetten, met een zeer hoge mate van controle. De vacuümapparatuur van HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) is uitgerust met apparatuur van Riber SA. De grootste apparatuur is de Riber 6000 en de kleinste de Compact 21. Deze apparatuur verkeert in goede staat en wordt door klanten gewaardeerd.

DCA is wereldwijd toonaangevend op het gebied van oxide MBE. Sinds 1993 wordt er systematisch gewerkt aan de ontwikkeling van oxidatietechnieken, het verwarmen van antioxidantsubstraten en antioxidantbronnen. Om die reden hebben veel toonaangevende laboratoria gekozen voor de oxidetechnologie van DCA. Composiet halfgeleider MBE-systemen worden wereldwijd gebruikt. Het VJ vloeibare stikstofcirculatiesysteem van HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) en de MBE-apparatuur van verschillende DCA-modellen, zoals de modellen P600, R450, SGC800, enz., hebben hun waarde bewezen in talloze projecten.

tcm (2)

Prestatietabel

Shanghai Instituut voor Technische Fysica, Chinese Academie van Wetenschappen
Het 11e Instituut van de China Electronics Technology Corporation
Instituut voor Halfgeleiders, Chinese Academie van Wetenschappen
Huawei
Alibaba DAMO Academie
Powertech Technology Inc.
Delta Electronics Inc.
Suzhou Everbright Fotonica

Geplaatst op: 26 mei 2021