Het Chip MBE-project voltooid in de afgelopen jaren

Technologie

Moleculaire bundelepitaxie, of MBE, is een nieuwe techniek voor het kweken van hoogwaardige dunne films van kristallen op kristalsubstraten.In ultrahoogvacuümomstandigheden wordt de verwarmingskachel uitgerust met allerlei benodigde componenten en wordt stoom gegenereerd, door gaten gevormd na het collimeren van de atomaire of moleculaire straal, directe injectie op de juiste temperatuur van het monokristallijne substraat, waardoor de moleculaire straal wordt geregeld Terwijl het substraat tegelijkertijd wordt gescand, kan het de moleculen of atomen in kristaluitlijningslagen maken om een ​​dunne film op een substraat "groei" te vormen.

Voor de normale werking van MBE-apparatuur is een hoge zuiverheid, lage druk en ultraschone vloeibare stikstof vereist die continu en stabiel naar de koelkamer van de apparatuur wordt getransporteerd.Over het algemeen heeft een tank die vloeibare stikstof levert een uitgangsdruk tussen 0,3 MPa en 0,8 MPa. Vloeibare stikstof bij -196 ℃ wordt tijdens transport via pijpleidingen gemakkelijk verdampt tot stikstof.Zodra de vloeibare stikstof met een gas-vloeistofverhouding van ongeveer 1:700 in de pijpleiding is vergast, zal deze een grote hoeveelheid vloeibare stikstofstroomruimte in beslag nemen en de normale stroom aan het einde van de vloeibare stikstofpijpleiding verminderen.Bovendien bevindt zich in de opslagtank voor vloeibare stikstof waarschijnlijk vuil dat niet is schoongemaakt.In de vloeibare stikstofleiding zal de aanwezigheid van natte lucht ook leiden tot de vorming van ijsslakken.Als deze onzuiverheden in de apparatuur terechtkomen, zal dit onvoorspelbare schade aan de apparatuur veroorzaken.

Daarom wordt de vloeibare stikstof in de buitenopslagtank met hoge efficiëntie, stabiliteit en schoon naar de MBE-apparatuur in de stofvrije werkplaats getransporteerd, en de lage druk, geen stikstof, geen onzuiverheden, 24 uur ononderbroken, een dergelijk transportcontrolesysteem is een gekwalificeerd product.

tcm (4)
tcm (1)
tcm (3)

Bijpassende MBE-apparatuur

Sinds 2005 optimaliseert en verbetert HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) dit systeem en werkt het samen met internationale fabrikanten van MBE-apparatuur.Fabrikanten van MBE-apparatuur, waaronder DCA, REBER, hebben samenwerkingsrelaties met ons bedrijf.Fabrikanten van MBE-apparatuur, waaronder DCA en REBER, hebben aan een groot aantal projecten samengewerkt.

Riber SA is een toonaangevende wereldwijde leverancier van moleculaire bundelepitaxie (MBE)-producten en aanverwante diensten voor onderzoek naar samengestelde halfgeleiders en industriële toepassingen.Het Riber MBE-apparaat kan zeer dunne lagen materiaal op het substraat aanbrengen, met zeer hoge controles.De vacuümapparatuur van HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) is uitgerust met Riber SA. De grootste apparatuur is Riber 6000 en de kleinste is Compact 21. Deze verkeert in goede staat en wordt door klanten erkend.

DCA is 's werelds toonaangevende oxide-MBE.Sinds 1993 wordt er systematisch gewerkt aan de ontwikkeling van oxidatietechnieken, verwarming van antioxidantsubstraten en bronnen van antioxidanten.Om deze reden hebben veel toonaangevende laboratoria gekozen voor DCA-oxidetechnologie.Composiet halfgeleider MBE-systemen worden over de hele wereld gebruikt.Het VJ-circulatiesysteem voor vloeibare stikstof van HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) en de MBE-apparatuur van meerdere modellen van DCA hebben de passende ervaring in vele projecten, zoals het model P600, R450, SGC800 enz.

tcm (2)

Prestatietabel

Shanghai Instituut voor Technische Natuurkunde, Chinese Academie van Wetenschappen
Het 11e Instituut van China Electronics Technology Corporation
Instituut voor Halfgeleiders, Chinese Academie van Wetenschappen
Huawei
Alibaba DAMO Academie
Powertech Technologie Inc.
Delta Electronics Inc.
Suzhou Everbright-fotonica

Posttijd: 26 mei 2021