Het Chip MBE-project voltooid in de afgelopen jaren

Technologie

Molecular beam epitaxy, of MBE, is een nieuwe techniek voor het kweken van hoogwaardige dunne films van kristallen op kristalsubstraten. In ultrahoog vacuümomstandigheden, door de verwarmingskachel is uitgerust met allerlei vereiste componenten en genereert stoom, door gaten gevormd na collimerende bundel atomaire of moleculaire bundel, directe injectie op de juiste temperatuur van het monokristallijne substraat, regelende moleculaire bundel naar terwijl het substraat tegelijkertijd wordt gescand, kan het de moleculen of atomen in kristaluitlijningslagen maken om een ​​dunne film op een substraat te laten "groeien".

Voor de normale werking van MBE-apparatuur is een hoge zuiverheid, lage druk en ultraschone vloeibare stikstof vereist die continu en stabiel naar de koelkamer van de apparatuur wordt getransporteerd. Over het algemeen heeft een tank die vloeibare stikstof levert een uitgangsdruk tussen 0,3 MPa en 0,8 MPa. Vloeibare stikstof bij -196 ℃ wordt gemakkelijk verdampt tot stikstof tijdens transport via pijpleidingen. Zodra de vloeibare stikstof met een gas-vloeistofverhouding van ongeveer 1: 700 in de pijpleiding is vergast, zal deze een grote hoeveelheid vloeibare stikstofstroomruimte innemen en de normale stroom aan het einde van de vloeibare stikstofpijpleiding verminderen. Bovendien bevindt zich in de opslagtank voor vloeibare stikstof waarschijnlijk vuil dat niet is schoongemaakt. In de pijpleiding voor vloeibare stikstof zal de aanwezigheid van natte lucht ook leiden tot de vorming van ijsslakken. Als deze onzuiverheden in de apparatuur terechtkomen, zal dit onvoorspelbare schade aan de apparatuur veroorzaken.

Daarom wordt de vloeibare stikstof in de buitenopslagtank getransporteerd naar de MBE-apparatuur in de stofvrije werkplaats met een hoog rendement, stabiliteit en schoon, en de lage druk, geen stikstof, geen onzuiverheden, 24 uur ononderbroken, een dergelijk transportcontrolesysteem is een gekwalificeerd product.

tcm (4)
tcm (1)
tcm (3)

Bijpassende MBE-apparatuur

Sinds 2005 optimaliseert en verbetert HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) dit systeem en werkt het samen met internationale fabrikanten van MBE-apparatuur. Fabrikanten van MBE-apparatuur, waaronder DCA, REBER, hebben samenwerkingsrelaties met ons bedrijf. Fabrikanten van MBE-apparatuur, waaronder DCA en REBER, hebben aan een groot aantal projecten meegewerkt.

Riber SA is een toonaangevende wereldwijde leverancier van producten voor moleculaire bundelepitaxie (MBE) en aanverwante diensten voor onderzoek naar samengestelde halfgeleiders en industriële toepassingen. Het Riber MBE-apparaat kan zeer dunne materiaallagen op het substraat afzetten, met zeer hoge controles. De vacuümapparatuur van HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) is uitgerust met Riber SA. De grootste apparatuur is Riber 6000 en de kleinste is Compact 21. Het is in goede staat en is erkend door klanten.

DCA is 's werelds toonaangevende oxide MBE. Sinds 1993 is een systematische ontwikkeling van oxidatietechnieken, verhitting van antioxidantensubstraten en bronnen van antioxidanten uitgevoerd. Om deze reden hebben veel toonaangevende laboratoria gekozen voor DCA-oxidetechnologie. Composiet halfgeleider MBE-systemen worden over de hele wereld gebruikt. Het VJ-circulatiesysteem voor vloeibare stikstof van HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) en de MBE-apparatuur van meerdere DCA-modellen hebben de bijpassende ervaring in veel projecten, zoals het model P600, R450, SGC800 enz.

tcm (2)

Prestatietabel

Shanghai Institute of Technical Physics, Chinese Academy of Sciences
Het 11e Institute of China Electronics Technology Corporation
Instituut voor halfgeleiders, Chinese Academie van Wetenschappen
Huawei
Alibaba DAMO Academie
Powertech Technology Inc.
Delta Electronics Inc.
Suzhou Everbright Photonics

Posttijd: 26 mei - 2021